净化车间要达到洁净等级，必须有综合措施，其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言，主要有以下几项具体措施：
（1）对净化车间的送风必须是有很高洁净度的空气。因此，必须选用高效或亚高效过滤器（洁净级别低时）作为终端过滤器，对进入净化车间的空气，进行*后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。
（2）根据净化车间的等级，合理选择净化车间的气流分布流型，在工作区应避免涡流区；尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区；气流的流动有利于净化车间内的微粒从回风口排走。
（3）有足够的风量，既为了稀释空气的含尘浓度，又保证有稳定的气流流型。
（4）不同等级的净化车间、净化车间与非净化车间或净化车间与室外之间均应保持一定的正压值。
净化车间的发展与现代工业、**技术密切联系在一起。由于精密机械工业（如陀螺仪、微型轴承等加工）、半导体工业（如大规模集成电路生产）等对环境的要求，促进了净化车间技术的发展。国内曾统计过，在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%，64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用净化车间已相当普遍。
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